EHT Semi Perseus™ | Wafer Bias | 16 kV, 20 kW, 110 A, 600 MHz

Bipolar | Streng kontrollierte Waferspannungen | Schmale Ionenenergieverteilungen (IED) | Kleine kritische Dimensionen

EHT Semi „Perseus™“:

Die programmierbare Ionenenergieverteilung führt zu einer höheren Ätzleistung
Herstellung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis und kleineren kritischen Abmessungen
Echtzeit-Waferspannung und IED, berechnet aus internen Messungen der Vorspannung und des Vorspannungsstroms. Weitere Informationen: Echtzeitspannung und Ionenenergien
Aktive Energierückgewinnung minimiert Wafer-Spannungsabfälle, verbessert die Effizienz und ermöglicht eine schnelle Steuerung der Ionenenergieverteilung
Kontinuierlich einstellbarer Multistate-Betrieb. Weitere Informationen: Multistate
Kein passendes Netzwerk erforderlich – reduziert die Komplexität
Perseus™ ist eine ideale Wahl für den Bau neuer hochmoderner 300-mm-Verarbeitungsanlagen oder die Nachrüstung älterer 200-mm-Systeme

Maximale elektrische Spezifikationen

Ausgangsspannung: 0-16 kV
Wellenformtyp: bipolar
Spitzenausgangsstrom: 110 A
Maximale Impulswiederholungsfrequenz: 600 kHz
Maximale durchschnittliche Eingangsleistung: 20 kW
Spitzenwirkungsgrad: > 80 % (lastabhängig)

Controller-Optionen

Ein optionaler EHT-Controller ermöglicht TCP/IP- oder EtherCat®-Kommunikation. Andere Industrieprotokolle können bei Bedarf schnell entwickelt werden. Alternativ können Pulsbreite und Pulswiederholfrequenz direkt über Glasfaser und einen externen Signalgenerator gesteuert werden.

Ausgangsspannungsregelung („Multistate“)

Die Ausgangsspannung kann in zwei Zeitskalen angepasst werden. Für Puls-zu-Puls-Anpassungen kann die Pulsbreite verringert werden, wodurch die Lastkapazität auf eine niedrigere Spannung aufgeladen wird. Bei längeren Zeiträumen kann der Sollwert der externen Gleichstromversorgung geändert werden.

Interne Sensorsuite

Kühlwasserdurchfluss
Kühlwassereintrittstemperatur
Kühlwasseraustrittstemperatur
Interner Lecksensor
Schwellentemperatur der Kühlplatte
Ausgangsspannung (spannungsgeteilt, 1:4000 in einen 50-Ω-Abschluss; sonst 1:2000)
Ausgangsstrom (0,5 V/A an 50 Ω-Abschlusswiderstand)

Der bipolare Pulsgenerator Perseus mit 20 kW, 600 kHz, 110 A und 0–16 kV zeichnet sich durch eine höhere Ätzleistung, kleinere kritische Abmessungen und eine geringere Komplexität aus. — Perseus™: Bipolarer Impulsgenerator mit 20 kW, 600 kHz, 110 A und 0–16 kV.

Die Wellenform des bipolaren Pulsgenerators Perseus zeigt die Ausgangs- und Waferspannung für zwei verschiedene Waferspannungsbedingungen: -1,7 kV und -6,5 kV. Aktive Energierückgewinnung minimiert den Waferspannungsabfall, verbessert die Effizienz und ermöglicht eine schnelle Steuerung der Ionenenergieverteilung. — Perseus™-Wellenform: Ausgangs- (oben) und Waferspannung (unten) für zwei verschiedene Waferspannungsbedingungen: -1,7 kV (blau) und -6,5 kV (unten). Perseus™ kann schnell zwischen Zuständen wechseln.