EHT Semi Perseus™ | Wafer Bias | 16 kV, 20 kW, 110 A, 600 MHz

Bipolar | Streng kontrollierte Waferspannungen | Schmale Ionenenergieverteilungen (IED) | Kleine kritische Dimensionen

EHT Semi „Perseus™“:

• Die programmierbare Ionenenergieverteilung führt zu einer höheren Ätzleistung
• Herstellung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis und kleineren kritischen Abmessungen
• Echtzeit-Waferspannung und IED, berechnet aus internen Messungen der Vorspannung und des Vorspannungsstroms. Weitere Informationen: Echtzeitspannung und Ionenenergien 
• Aktive Energierückgewinnung minimiert Wafer-Spannungsabfälle, verbessert die Effizienz und ermöglicht eine schnelle Steuerung der Ionenenergieverteilung
• Kontinuierlich einstellbarer Multistate-Betrieb. Weitere Informationen: Multistate
• Kein passendes Netzwerk erforderlich – reduziert die Komplexität
• Perseus™ ist eine ideale Wahl für den Bau neuer hochmoderner 300-mm-Verarbeitungsanlagen oder die Nachrüstung älterer 200-mm-Systeme

Maximale elektrische Spezifikationen

• Ausgangsspannung: 0-16 kV
• Wellenformtyp: bipolar
• Spitzenausgangsstrom: 110 A
• Maximale Impulswiederholungsfrequenz: 600 kHz
• Maximale durchschnittliche Eingangsleistung: 20 kW
• Spitzenwirkungsgrad: > 80 % (lastabhängig)

Controller-Optionen

• Ein optionaler EHT-Controller ermöglicht TCP/IP- oder EtherCat®-Kommunikation. Andere Industrieprotokolle können bei Bedarf schnell entwickelt werden. Alternativ können Pulsbreite und Pulswiederholfrequenz direkt über Glasfaser und einen externen Signalgenerator gesteuert werden.

Ausgangsspannungsregelung („Multistate“)

• Die Ausgangsspannung kann in zwei Zeitskalen angepasst werden. Für Puls-zu-Puls-Anpassungen kann die Pulsbreite verringert werden, wodurch die Lastkapazität auf eine niedrigere Spannung aufgeladen wird. Bei längeren Zeiträumen kann der Sollwert der externen Gleichstromversorgung geändert werden.

Interne Sensorsuite

• Kühlwasserdurchfluss
• Kühlwassereintrittstemperatur
• Kühlwasseraustrittstemperatur
• Interner Lecksensor
• Schwellentemperatur der Kühlplatte
• Ausgangsspannung (spannungsgeteilt, 1:4000 in einen 50-Ω-Abschluss; sonst 1:2000)
• Ausgangsstrom (0,5 V/A an 50 Ω-Abschlusswiderstand)