Server und Datenerfassung

EHT Semi Spartan™ | Wafer Bias | Chucking | 14 kV, 20 kW, 175 A, 600 MHz.

Unipolar | Streng kontrollierte Waferspannungen | Schmale Ionenenergieverteilungen (IED) | Kleine kritische Dimensionen.

EHT Semi „Spartan™“:

Kein passendes Netzwerk erforderlich – reduziert die Komplexität
Eine verbesserte Kontrolle der Ionenenergieverteilung führt zu einer verbesserten Ätzqualität
Schnelle Impulsanstiegszeit optimiert die Wafer-Einschaltzeit (Zeit, die der Wafer bei Spannungen ungleich Null verbringt)
Rüsten Sie ältere Verarbeitungswerkzeuge nach, um die Fähigkeiten zu verbessern.

Spezifikationen

Ausgangsspannung: 0-14 kV
Spitzenausgangsstrom: 175 A
Maximale durchschnittliche Eingangsleistung: 20 kW
Frequenz: 80-600 kHz
Spitzenwirkungsgrad: > 80 % (lastabhängig)
Controller: TCP/IP- oder EtherCat®-Kommunikation

Controller Options

Ein optionaler EHT-Controller ermöglicht die TCP/IP- oder EtherCAT-Steuerung. Andere Industrieprotokolle können bei Bedarf schnell entwickelt werden. Alternativ können Pulsbreite und Pulswiederholfrequenz direkt über Glasfaser und einen externen Signalgenerator gesteuert werden.

Ausgangsspannungsregelung

Die Ausgangsspannung kann in zwei Zeitskalen angepasst werden. Für Puls-zu-Puls-Anpassungen kann die Pulsbreite verringert werden, wodurch die Lastkapazität auf eine niedrigere Spannung aufgeladen wird. Bei längeren Zeiträumen kann der Sollwert der externen Gleichstromversorgung geändert werden.

Interne Sensorsuite

Kühlwasserdurchfluss
Kühlwassereintrittstemperatur
Kühlwasseraustrittstemperatur
Interner Lecksensor
Schwellentemperatur der Komponenten und der Kühlplatte
Ausgangsspannung (spannungsgeteilt, 1:4000 in einen 50-Ω-Abschluss; sonst 1:2000)
Ausgangsstrom (0,5 V/A an 50 Ω-Abschlusswiderstand)

Der Spartan Unipolar-Impulsgenerator mit 20 kW, 175 A und 80-600 kHz zeichnet sich durch geringere Komplexität und verbesserte Ätzqualität aus. — Spartan™: 20 kW, 175 A und 80-600 kHz Unipolar-Impulsgenerator.

Die Wellenform des Spartan Unipolar Pulse Generator zeigt einen 15-kV-Betrieb bei 400 kHz PRF in simulierter Plasmamantellast, die Ausgangsspannungswellenformen sind unipolar und zeichnen sich durch sehr schnelle Anstiegs- und Abfallzeiten von bis zu 200 ns und schmale Impulsbreiten von 300 ns oder weniger aus. — Spartan™: Wellenform: 15-kV-Betrieb bei 400 kHz PRF in simulierter Plasmamantellast. Die Ausgangsspannungswellenformen von Spartan™ und Hoplite™ sind unipolar und zeichnen sich durch sehr schnelle Anstiegs- und Abfallzeiten (<200 ns) und schmale Impulsbreiten (~300 ns oder weniger) aus.